一般要经过初效过滤、中效过滤、过滤等三个过滤段，气流→初效净化→加湿段→加热段→表热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间带走尘埃等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化目的。

由于工艺的更新，部分车间将在此次改造中改建成洁净车间。此部分虽然位于单层厂房处。但其上部约有4.5米的空间可用作管道层。下部也可改造成有1.5米深的回风层.洁净室布置厂房中心部，四周无外墙。结合工艺和改造工程的需要，周围布置了产品仓库，走道，机房等。

冷热水系统设置三通阀根据回水温度感知洁净车间的负荷变化，为系统提供适合的冷热量。

过滤系统(包括、中效、初效过滤器)设置压差控制装置以便适时更换阻力过大的过滤装置。

蒸汽加湿器设置控制系统，根据洁净车间的湿度变化控制进入加湿器蒸汽量。

系统连锁控制：基本控制是当风机停止时，所有的水阀、风阀随即关闭。

无尘车间是指操控产品(如硅片)所暴露的大气的清洁度和温度湿度，以便产品可以在良好的环境中出产和制造。这个环境空间的设计和制作进程可以称为净化工程。

针对无尘车间净化空调体系的加湿问题，有许多常用的加湿办法，包括喷水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿。这些加湿办法归于等焓加湿进程。